지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
2001
2000
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
ECR - PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
ECR - PECVD 방법으로 제조한 a-C:H 박막의 결합구조
Applied Science and Convergence Technology
2000 .12
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Room Temperature Fabrication of Silicon Oxide Thin Films by ECR PECVD
Applied Science and Convergence Technology
1993 .12
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
Applied Science and Convergence Technology
2001 .04
ECR - PECVD 장치의 제작과 특성
Applied Science and Convergence Technology
2000 .02
PECVD를 이용하여 질소분위기에서 증착된 SiNx 박막의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
PECVD법에 의해 증착된 plasma polymerized ethylenediamine 박막의 표면 - NH₂ 밀도와 증착변수와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
PECVD법에 의한 다성분 Fe - O계 박막 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
0