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ECR 플라즈마 장치의 제작
Applied Science and Convergence Technology
1992 .02
고전류 금속이온빔 발생을 위한 도파관 직접 연결형태의 ECR 플라즈마 소스 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
ECR 염소 플라즈마를 이용한 구리 박막의 식각에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
영구자석형 14 GHz ECR 이온원 개념설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
초전도 ECR 이온원을 위한 RF 시스템 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Necessity and effects of Thermal Blocking Liner for ECR plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
KAERI ECR 이온원의 자장구조 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
ECR 이온원용 6극 영구자석 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
질소ECR 플라즈마에 노출된 Al 박막의 분광타원해석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
14.5 GHz 전자 사이클로트론 공명 이온원을 사용한 다가(multi-charged) 이온빔 인출
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
ECR 플라즈마를 이용한 액체질소온도에서의 poly - Si 및 Si 식각연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
질소 ECR 플라즈마에 노출된 Al 박막의 분광타원해석
Applied Science and Convergence Technology
1993 .03
자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유도 결합형 플라즈마내의 이온 존재비율 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
ECR 플라즈마 식각장치의 고진공 시스템제작 및 반도체 식각특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
ECR - PECVD 장치의 제작과 특성
Applied Science and Convergence Technology
2000 .02
Magnetic-Field-Dependent Spatial Configuration of Erosion and Deposition of a-C:H Thin Films in an ECR Chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
100 MeV 초전도 싸클로트론의 14.5 ㎓ ECR 이온원 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
ECR Plasma Deposition System의 제작과 특성 및 Plasma의 Diagnosis
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
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