2.45 ㎓ ECR 이온원 플라즈마 특성

서창석 ,  정승호 ,  김범열 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

영구자석형 14 GHz ECR 이온원 개념설계

오병훈 ,  인상열 ,  이광원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Necessity and effects of Thermal Blocking Liner for ECR plasma

권성용 ,  장진녕 ,  홍문표

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

초전도 RF 공동기의 제작

홍만수 ,  권혁채 ,  박인수 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

KAERI ECR 이온원의 자장구조 측정

오병훈 ,  이광원 ,  서창석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

ECR 이온원용 6극 영구자석 제작

서창석 ,  오병훈 ,  인상렬

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

고전류 금속이온빔 발생을 위한 도파관 직접 연결형태의 ECR 플라즈마 소스 개발

장수욱 ,  유현종 ,  추원일

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Magnetron Sputtering 법에 의한 초전도 Nb coating 소재의 RF 한계 확장을 위한 연구

손영욱 ,  박용준 ,  권혁채 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

14.5 GHz 전자 사이클로트론 공명 이온원을 사용한 다가(multi-charged) 이온빔 인출

진정태 ,  서창석 ,  오병훈 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

ECR 플라즈마 장치의 제작

오수기 ,  정근모

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

100 MeV 초전도 싸클로트론의 14.5 ㎓ ECR 이온원 설계

오병훈 ,  인상열 ,  정승호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

ECR 염소 플라즈마를 이용한 구리 박막의 식각에 관한 연구

박홍배 ,  이정용 ,  장홍영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Magnetic-Field-Dependent Spatial Configuration of Erosion and Deposition of a-C:H Thin Films in an ECR Chamber

Sun-A Pa ,  k ,  Hyeon Seob So 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

ECR - PECVD 장치의 제작과 특성

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .02

28 ㎓ 초전도 ECRIS의 마이크로파 전파 특성 및 이를 이용한 시스템 설계

왕선정 ,  원미숙 ,  이병섭 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

자성박막 소자 에칭용 전자 사이클로트론 공명 이온밀링 시스템 제작과 특성연구

이원형 ,  황도근 ,  이상석 외 1명

한국자기학회지

2015 .10

ECR Ar - 이온 밀링에 의한 Dual NiO 스핀밸브 박막의 두께 의존성

이상석 ,  김종기 ,  윤문성 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2001 .04

ECR plasma heating parameters in mirror and cusp configurations

M.A.I. Elga ,  hy ,  Soong Hyeong lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

The first extraction of multiple charge state heavy ion beam from 28GHz superconducting electron cyclotron resonance ion source at KBSI

옥정우 ,  이병섭 ,  최세용 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02