초고진공 전자공명 플라즈마를 이용한 실리콘 기판표면 세정화 ( Si Wafer Surface Cleaning by UHV ECR Plasma )

황석희 ,  태홍식 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구

김용진 ,  김정형 ,  송선규 외 1명

한국표면공학회지

1992 .12

초고진공 전자 사이클로트론 공명 플라즈마를 이용한 저온 SiGe 에피증착에 관한 연구

황석희 ,  주성제 ,  윤의준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

In Situ Boron Doping of Si Epitaxial Layers by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

박진원 ,  황기현 ,  주성재 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

초고진공 전자공명 화학기상증착법을 이용한 $Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막의 저온에피성장

주성재 ,  황석희 ,  황기현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Si Epitaxial Growth on LOCOS Patterned Wafer by Ultra-High Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

여환국 ,  박진원 ,  황기현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Formation of β-SiC By Carburization of Si ( 100 ) Surface at 600 C using ultra-High Vacuum Electron Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

표재확 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에 의한 상온 실리콘 산화막 형성시 질소 첨가가 절연막의 특성에 미치는 영향 ( Effects of Nitrogen Addition on the Dielectric Characteristics of Room Temperature Silicon Oxide Thin Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .11

전자 공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

李晳賢 ,  金在聲 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .03

전자공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

이석현 ,  김재성 ,  황기웅 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

초고진공 전자공명 플라즈마를 이용한 SiC buffer layer 형성에 관한 연구

전우곤 ,  표재확 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

ECR 플라즈마 기상화학 증착법에 의해 증착된 TiN 박막의 비저항, 피복성 및 확산 방지 특성에 관한 연구

김종석 ,  장성수 ,  이수정 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Surface Roughness and Defect morphology in Electron Cyclotron Resonance Hydrogen Plasma Cleaned ( 100 ) Silicon at Low Temperatures

Ki Hyun Hwang ,  Eui Joon Yoon ,  Ki Woong Whang 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

rf 플라즈마 화학기상증착기의 제작 및 특성

김경례 ,  김용진 ,  현준원 외 3명

한국표면공학회지

2000 .04

환경친화적인 실리콘 웨이퍼 세정 연구

윤효섭 ,  류근걸

청정기술

2000 .06

다결정 실리콘 박막트랜지스터를 위한 저온 Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .09

수소 플라즈마에 의해 표면 활성화된 실리콘 기판을 이용한 SOI 기판 제작에 관한 연구

최우범 ,  주철민 ,  이종석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Low-temperature epitaxial Ge layer growth on Si(100) substrate

신건욱 ,  김현우 ,  윤의준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화를 이용한 열산화막의 신뢰성 향상

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .08