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초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상증착장치의 제작과 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 기판 표면 세정화 ( Manufacturing of Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition Reactor and Si Wafer Surface Cleaning by Hydrogen Plasma )
전자공학회논문지-A
1994 .04
초고진공 전자공명 플라즈마를 이용한 실리콘 기판표면 세정화 ( Si Wafer Surface Cleaning by UHV ECR Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
UHV ECRCVD에 의한 저온 Si과 SiGe 에피 증착에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
조선대학교 사이클로트론 연구센터의 KIRAMS-13 사이클로트론을 이용한 이온 빔 분석용 빔 라인 설계연구
대한방사선방어학회 학술발표회
2011 .01
저전력 전자공명 수소 플라즈마를 이용한 저온 건식 접촉 구멍 세정화
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
SiGe 에피막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of SiGe )
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
전자 공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구
전기학회논문지
1993 .03
전자공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
Selective Etching of SiGe on SiGe/Si Heterostructures
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1990 .01
KIRAMS-13 사이클로트론용 stripper 성능개선 연구
대한방사선방어학회 학술발표회
2011 .01
Study on the Growth of SiGe film on Si Substrate using Solid Phase epitaxy
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
SiGe pMOSFETs 의 저온 초고주파 특성 연구
대한전자공학회 학술대회
2010 .06
SiGe를 사용한 주파수 혼합기 설계
대한전자공학회 학술대회
2004 .12
초고진공 전자공명 플라즈마를 이용한 SiC buffer layer 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .11
국내 동정
동위원소 뉴스
2006 .01
S / SiGe을 이용한 새로운 단전자 트랜지스터 ( A Novel Single Electron Transistor Using Si / SiGe )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
저온플라즈마를 이용한 공기청정기술
공기청정기술
2002 .01
저온 플라즈마를 이용한 가스상 오염 물질 제거
기계저널
2015 .06
초고진공 전자공명 화학기상증착법을 이용한 $Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막의 저온에피성장
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Si/SiGe을 이용한 새로운 단전자 트랜지스터
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
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