초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상증착장치의 제작과 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 기판 표면 세정화 ( Manufacturing of Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition Reactor and Si Wafer Surface Cleaning by Hydrogen Plasma )

황석희 ,  태흥식 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .04

전자회전공명 플라즈마를 이용한 a-C:H 박막의 특성 연구

김인수 ,  장익훈 ,  손영호

한국산업정보학회 학술대회논문집

2001 .05

환경친화적인 실리콘 웨이퍼 세정 연구

윤효섭 ,  류근걸

청정기술

2000 .06

저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구

구희준 ,  고광진 ,  정찬교

청정기술

2001 .09

ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규 ,  장홍영

한국표면공학회지

1990 .12

ECR 플라즈마에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Thin Films Formed by ECR Plasma )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1992 .10

Si 기판 세정 조건에 따른 산화막의 특성 연구

전형탁 ,  강응렬 ,  조윤성

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

ECR Plasma를 이용한 GaAs ( 100 ) 기판 표면의 질화반응에 관한 연구

모영환 ,  서영훈 ,  임기영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

ECR plasma를 이용한 실리콘 산화 박막 성장 및 특성연구

안명환 ,  윤창주 ,  이기방 외 9명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

초고진공 전자 사이클로트론 공명 플라즈마를 이용한 저온 SiGe 에피증착에 관한 연구

황석희 ,  주성제 ,  윤의준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

ECR 산소 플라즈마를 이용한 저온 열산화 ( Low Temperature Thermal Oxidation using ECR Oxygen Plasma )

이정열 ,  강석원 ,  이진우 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .03

Wafer Plasma Bevel Cleaning 장비용 핵심부품 세정기술

정나겸 ,  김상준 ,  김훈식 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

이온 분석기에 의한 ECR플라즈마의 특성 분석 및 실리콘 식각에 관한 연구

李晳賢 ,  李昈駿 ,  黃琪雄

전기학회논문지

1992 .05

UN-ozone을 이용한 실리콘 표면 세정 효과의 연구

이경우 ,  조용범 ,  천희곤 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

ECR 플라즈마를 이용한 반도체 공정기술

박성호 ,  강봉구

[ETRI] 전자통신동향분석

1988 .06

실리콘 태양전지 웨이퍼 Green 세정공정기술 개발

손영수 ,  함상용 ,  김병인

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

ECR 플라즈마를 이용한 Cu 박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이성권 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01