Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Si Epitaxial Growth on LOCOS Patterned Wafer by Ultra-High Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

여환국 ,  박진원 ,  황기현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Low-temperature epitaxial Ge layer growth on Si(100) substrate

신건욱 ,  김현우 ,  윤의준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Formation of β-SiC By Carburization of Si ( 100 ) Surface at 600 C using ultra-High Vacuum Electron Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

표재확 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에 의한 상온 실리콘 산화막 형성시 질소 첨가가 절연막의 특성에 미치는 영향 ( Effects of Nitrogen Addition on the Dielectric Characteristics of Room Temperature Silicon Oxide Thin Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .11

초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상증착장치의 제작과 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 기판 표면 세정화 ( Manufacturing of Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition Reactor and Si Wafer Surface Cleaning by Hydrogen Plasma )

황석희 ,  태흥식 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .04

Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

초고진공 전자공명 화학기상증착법을 이용한 $Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막의 저온에피성장

주성재 ,  황석희 ,  황기현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Conductive characterization of Boron doped Diamond thin films by Microwave Chemical Vapor Deposition

Van Cao-Nguyen ,  Yeong Min Pa ,  k 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

반응성 금속유기화학증착법에 의한 Si(100)기판 위에서 epitaxial $CoSi_2$ layer의 in situ 성장

이화성 ,  이희승 ,  박종호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화를 이용한 열산화막의 신뢰성 향상

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .08

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과

李鐵眞

전기학회논문지

1998 .12

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Electrical Properties in Si-Doped GaN by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

Sam Kyu Noh ,  Cheul Ro Lee ,  In Hwan Lee 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

다결정 실리콘 박막트랜지스터를 위한 저온 Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .09

Growth of Single-Layer and Multilayer Hexagonal Boron Nitride by Chemical Vapor Deposition

신현석

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .10

Low Temperature Growth of GaN on Nitridated Sapphire using Remote Plasma Enhanced Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition

김동준 ,  김경국 ,  백종식 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

SILICON NANO-STRUCTURES VIA SELECTIVE SURFACE CHEMICAL REACTIONS UNDER ULTRAHIGH VACUUM

Yun ,  Wan-Soo ,  Ha 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Oxidation of Single Crystal Silicon and Strained Si on Relaxed Si1-xGex Buffer Layer by Electron Cyclotron Resonance

서문석 ,  김병목 ,  류홍우 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구

김용진 ,  김정형 ,  송선규 외 1명

한국표면공학회지

1992 .12