In Situ Boron Doping of Si Epitaxial Layers by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

박진원 ,  황기현 ,  주성재 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Formation of β-SiC By Carburization of Si ( 100 ) Surface at 600 C using ultra-High Vacuum Electron Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

표재확 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에 의한 상온 실리콘 산화막 형성시 질소 첨가가 절연막의 특성에 미치는 영향 ( Effects of Nitrogen Addition on the Dielectric Characteristics of Room Temperature Silicon Oxide Thin Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .11

Low-temperature epitaxial Ge layer growth on Si(100) substrate

신건욱 ,  김현우 ,  윤의준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

LOCOS구조에 대한 2차원 모델링

이준하 ,  서기철 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Locos구조에 대한 2차원 모델링 ( Two-Dimensional Modeling of Locos Structure )

이준하 ,  서기철 ,  박화식 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상증착장치의 제작과 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 기판 표면 세정화 ( Manufacturing of Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition Reactor and Si Wafer Surface Cleaning by Hydrogen Plasma )

황석희 ,  태흥식 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .04

Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화를 이용한 열산화막의 신뢰성 향상

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .08

Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

다결정 실리콘 박막트랜지스터를 위한 저온 Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .09

Analysis of Heat and Mass Transfer during Multi-Wafer Low Pressure Chemical Vapor Deposition Process

K. S. Pa ,  k ,  M. Choi

Heat Transfer Conference

1998 .08

[세션초청논문] Optimization of growth rate for Si in a planetary CVD reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구

김용진 ,  김정형 ,  송선규 외 1명

한국표면공학회지

1992 .12

상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 LOCOS공정에 관한 연구 ( Study of a New LOCOS Process using Room Temperature Plasma Nitridation )

이병일 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

Epitaxial Growth and Characterization of 3C-SiC on Si Substrate using Rapid Thermal Chemical Vapour Deposition

심현욱 ,  김광철 ,  서영훈 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Oxidation Model에 따른 Advanced LOCOS 구현에 관한 연구 ( A Study for Advanced LOCOS Implement Depend On Oxidation Models )

이용희 ,  최영규 ,  류기한 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

초고진공 전자공명 화학기상증착법을 이용한 $Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막의 저온에피성장

주성재 ,  황석희 ,  황기현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Low Pressure Chemical Vapor Deposition 공정에서 복사열전달 및 물질전달 ( Analysis of Heat and Mass Transfer during Multi-Wafer Low Pressure Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  최만수 ,  조형주

대한기계학회 춘추학술대회

1998 .01