다결정 실리콘 박막트랜지스터를 위한 저온 Electron Cyclotron Resonance N₂O-플라즈마 산화

李進雨 ,  李來寅 ,  韓喆熙

전기학회논문지

1998 .09

Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 에 의한 상온 실리콘 산화막 형성시 질소 첨가가 절연막의 특성에 미치는 영향 ( Effects of Nitrogen Addition on the Dielectric Characteristics of Room Temperature Silicon Oxide Thin Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .11

Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Surface Roughness and Defect morphology in Electron Cyclotron Resonance Hydrogen Plasma Cleaned ( 100 ) Silicon at Low Temperatures

Ki Hyun Hwang ,  Eui Joon Yoon ,  Ki Woong Whang 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

전자 공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

李晳賢 ,  金在聲 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .03

전자공명을 이용한 저온 플라즈마 식각에 관한 연구

이석현 ,  김재성 ,  황기웅 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

Formation of β-SiC By Carburization of Si ( 100 ) Surface at 600 C using ultra-High Vacuum Electron Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

표재확 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Raman Scattering Study of InGaN Grown by Ion-Removed Electron Cyclotron Resonance MBE on ( 001 ) Al2O3

Yong Seok Choi ,  Soon Jae Yu ,  Yong Kook Joh 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Fabrication of Low Temperature Si Pn Diode by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

황기현 ,  박진원 ,  김진양 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Oxidation of Single Crystal Silicon and Strained Si on Relaxed Si1-xGex Buffer Layer by Electron Cyclotron Resonance

서문석 ,  김병목 ,  류홍우 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Si Epitaxial Growth on LOCOS Patterned Wafer by Ultra-High Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

여환국 ,  박진원 ,  황기현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

In Situ Boron Doping of Si Epitaxial Layers by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition

박진원 ,  황기현 ,  주성재 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학 증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성 연구

김용진 ,  김정형 ,  송선규 외 1명

한국표면공학회지

1992 .12

Magnetic dependence of cyclotron resonance in the electron-piezoelectric phonon interacting materials

박정일 ,  석정영

Journal of the Korean Magnetic Resonance Society

2020 .01

Properties of lanthanum oxide deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

Kang ,  Byung-Woo ,  Kim 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

플라즈마/화염을 이용한 부분산화연구

송영훈 ,  차민석 ,  김관태 외 1명

KOSCO SYMPOSIUM 논문집

2005 .01

ECR 플라즈마에 의한 알루미늄 질화처리시 표면조도의 영향

김진수 ,  안재현 ,  고경헌 외 1명

한국표면공학회지

1991 .12

$O_2/CF_4$ ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식식각 기구 연구

이응직 ,  김종삼 ,  김진웅 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Control of Chitosan Molecular Weight with Cyclotron Ion Beam Irradiation

Insup Noh ,  Yoon-Jeong Choi ,  Mi-Sook Kim 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

중이온 가속기를 위한 전자싸이클로트론공명장치용 초전도 마그네트 개발

최세용 ,  원미숙 ,  이병섭 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07