Mask Patterning Challenges Beyond 150nm

Ma ,  k Gesley

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

통계적 기법을 이용한 선택적 CVD 텅스텐 공정 최적화 연구 ( The Optimization of the Selective CVD Tungsten Process using Statistical Methodology )

황성보 ,  최경근 ,  박흥락 외 1명

전자공학회논문지-A

1993 .12

ICP ETCHING OF TUNGSTEN FOR X-RAY MASKS

C. Jeong ,  K. Song ,  C. Pa 외 4명

한국표면공학회지

1996 .12

Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning

김영식 ,  허철 ,  김철균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

A Research on the Anisotropic Etching of Tungsten-Nitride for X-Ray Mask

H. G. Lee ,  C. Y. Jeong ,  S. Y. Lee 외 6명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

레이저를 이용한 회로 패터닝

박민수 ,  원시태 ,  김한글 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

CVD 텅스텐의 부착 및 누설전류 특성에 미치는 플라즈마 전처리의 효과

이종무 ,  임영진 ,  이종길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구

전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

레이저 CVD 텅스텐막 증착을 통한 TFT LCD 불량배선 수리

김석군 ,  이기선 ,  손정석

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Silicon / Materials , Epitaxy / CVD

민석기

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

초음파 패턴성형시 패턴 방향에 따른 전사특성 고찰

서영수 ,  이기연 ,  박근

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .04

미세 인쇄회로용 Laser Polymer Patterning 기술 개발

윤도영 ,  황신환 ,  손현기 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .04

Nanofabrication with Self-Patterning Hybrid Materials

Sang Min Pa ,  k

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .10

잉크젯을 이용한 미세패턴에 관련된 일반 이슈들

신동윤 ,  김동수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .11

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

정전기력 분무 공정 기반 마스크 패터닝 시스템 기술 개발

최경현 ,  당현우 ,  김형찬 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .11