Direct Patterning of Self Assembled Nano-Structures of Block Copolymers via Electron Beam Lithography

Bo Kyung Yoon ,  Won Seok Hwang ,  Youn Jung Pa 외 5명

Macromolecular Research

2005 .10

Simulation of Electron Trajectory in the Cell-Projection Lithography Optical System

K. Yamaguchi ,  M. Kote ,  a

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Proximity Effect Correction by Pattern Modified Stencil Mask in Large Field Projection Electron-Beam Lithography

Hideo Kobinata ,  Hi ,  oshi Yamashita 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Sub-0.1mm Patterning Characteristics of Inorganic Resists by Focused-Ion-Beam Lithography

Seung Woo Paek ,  Soo Ho Pa ,  k 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Mask Patterning Challenges Beyond 150nm

Ma ,  k Gesley

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Projection Optics , E-Beam과 X-Ray를 이용하는 Fine Line Lithography

권영세

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Fabrication of poly(vinyl alcohol)-patterned polystyrene substrate for patterning of cells by ion beam lithography

정창희 ,  진유란 ,  황인태 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Synthesis and application of the hybrid mask for soft - lithography

천재은 ,  이현정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

Patterning of mammalian cells on a poly(acrylic acid)-patterned polymer substrate prepared by ion beam contact lithography

황인태 ,  정찬희 ,  최재학

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04