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Recent Patterning Technology for the Sub 80nm Node Size in Semiconductor Device
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2006 .04
Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Fine Patterning of CVD Tungsten Using Various Mask Materials
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
레이저를 이용한 회로 패터닝
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Patterning of sub-30-nm gap structures through metal-embedded stamp
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2012 .10
초음파 패턴성형시 패턴 방향에 따른 전사특성 고찰
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .04
정전기력 분무 공정 기반 마스크 패터닝 시스템 기술 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .11
Efficient Masked Implementation for SEED Based on Combined Masking
[ETRI] ETRI Journal
2011 .04
NMS의 동향 및 효율적인 망관리를 위한 NMS 적용 사례 분석
한국통신학회 학술대회논문집
2003 .11
Mask 제작기술
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
테스트 결과값 분석을 통한 부분적 X-Masking 방법
대한전자공학회 학술대회
2017 .06
전해에칭 마스크로 활용하기 위한 도금층의 펄스 레이저 패터닝
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
A versatile patterning method for 3-dimensional complex pattern with 10 nm scale over large area by secondary sputtering phenomenon
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2011 .04
초음파 성형시 진동전달 방향에 따른 미세패턴의 전사특성 고찰
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2012 .11
고정 마스크에 의한 레이저 미세패터닝 쾌속 제작
한국레이저가공학회지
2006 .01
미세 인쇄회로용 Laser Polymer Patterning 기술 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .04
나노입자 집속 마스크를 이용한 나노입자 패턴 형성
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .11
Patterning of Graphene in Various Length Scale
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2010 .10
Nano patterning of polymer particle
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2008 .10
Block Copolymer Multiple patterning Integrated with Conventional 193 nm ArF Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2010 .10
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