TiN 상에서의 CVD텅스텐막의 성장

김의송 ,  이종무 ,  이종길

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

접합층을 이용한 선택 텅스텐 화학기상증착 공정연구 ( A Study of Selective W-CVD Process Using the Glue Layer )

최경근 ,  황성보 ,  박흥락 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .12

기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구

전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

CVD 텅스텐의 부착 및 누설전류 특성에 미치는 플라즈마 전처리의 효과

이종무 ,  임영진 ,  이종길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

전처리가 CVD 텅스텐의 핵생성에 미치는 효과

이종무 ,  권난영 ,  김의송 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )

김용태 ,  민석기 ,  홍종성 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

초음파를 이용한 CVD 다이아몬드 평가기법

김훈희 ,  송성진 ,  김학준

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구 ( A Study on Selective Area Deposition by Laser CVD Method )

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

450mm 반도체 CVD 장비 및 300mm F-CVD 공정용 8kW급 주파수 가변형 RF Generator 개발

김대욱 ,  양대기 ,  안영오 외 3명

전력전자학회 학술대회 논문집

2014 .07

수면호흡장애 환자의 인공지능 기반 심혈관질환 예측 모델

박종욱 ,  류지승 ,  강승영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

고주파 발진기를 이용한 CVD 장치의 제작 및 평가 ( Fabrication and Evaluation of CVD System using R. F. Generator )

김정회 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

레이저 CVD 텅스텐막 증착을 통한 TFT LCD 불량배선 수리

김석군 ,  이기선 ,  손정석

전기전자재료학회논문지

2004 .01

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07