Silicon Epitaxy

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

CVD epitaxy 에서의 pattern shift의 분석

백문철 ,  이승한 ,  조경익 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

Selective Silicon Epitaxy에 대한 연구 ( Study on the Selective Silicon Epitaxy )

조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Silicon Epitaxy에서 일어나는 Pattern Shift에 대한 연구 ( Pattern Shift in Silicon Epitaxy )

백문철 ,  조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

Epitaxy behavior of various inorganics on the surface of graphene and its application for recyclable epitaxy substrate of CVD

김대우 ,  김선준 ,  최형욱 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

CO₂ Laser-induced CVD법에 의한 Silicon 박막 및 p-n접합 Silicon제작

최원국 ,  정광호 ,  김웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .11

HIGH QUALITY SELECTIVE EPITAXY GROWTH OF SILICON FOR DEVICE ISOLATION

H. G. Chun ,  H. S. Yang ,  S. K. Lee 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Silicon Epitaxy에서의 Dopant Incorporation

조경익 ,  이승한 ,  백문철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

Numerical Study on Silicon CVD in Horizontal Reactors

U. Na ,  usawa

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장

최치규 ,  강민성 ,  문종 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

Numerical Modeling on Epitaxial Growth of Silicon in a Planetary CVD Reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

Strained Growth Behavior in Selective Silicon Epitaxy

이정호 ,  이길호 ,  여인석 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

Purification of Si using Catalytic CVD

조철기 ,  이경섭 ,  송민우 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .11

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11