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저자정보
이준호 (한양대학교) 하우 (한양대학교) 정진욱 (한양대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
125 - 125 (1page)

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60MHz 용량 결합 플라즈마(CCP)의 반경 방향 위치 별 전자 에너지 분포 함수(EEDF)를 측정하였다. 쉬스의 비선형성 때문에 생기는 고조파 성분의 공간 분포가 인가 파워에 따라 변화하였고 이에 따라 위치 별 플라즈마의 흡수 전력 차이가 커져 플라즈마 밀도의 불균일성은 낮은 파워보다 높은 파워에서 더 크게 나타났다. ... 전체 초록 보기
#CCP #Plasma density #Harmonics #EEDF

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