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저자정보
하우 (한양대학교) 임영민 (한양대학교) 정진욱 (한양대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2019.8
수록면
107 - 107 (1page)

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