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CF4를 적용한 3차원 반도체용 ICP 방전에서 heat, flow, eedf를 고려한 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
2차원 유도결합형 플라즈마 방전에서 전자 에너지 분포 함수, 유체의 흐름 및 열전달을 고려한 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
새로운 방식의 하이브리드 모델을 적용한 반도체 공정용 유도 결합형 플라즈마 방전 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈착이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
전자와 이온의 에너지 분포 함수를 고려한 축전 결합형 플라즈마 장비의 방전 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
수치적 해석 기법의 차이에 따른 1D CCP simulation 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Multizone, bias를 고려한 유도 결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Modified Fluid Simulation of an Inductively Coupled Plasma Discharge
Applied Science and Convergence Technology
2019 .11
60 ㎒ CCP에서의 전류 고조파 성분과 플라즈마 밀도 분포의 관계에 대한 실험적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Pulsed Inductively Coupled Plasma Discharge Simulation for Semiconductor Processing in 2D Axisymmetric Structure
Applied Science and Convergence Technology
2020 .11
Hybrid model을 적용한 2차원 반도체 공정용 ICP에서 Bias에 따른 IEDF, IADF 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Effect of multi-step ionizations on the tail electron temperature in an argon inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도결합플라즈마 질량분석기(ICP-MS)를 활용한 나노 입자 및 단일 세포 분석
한국분석과학회 학술대회
2018 .11
열 전달 효과를 고려한, RF-bias가 인가된 유도결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
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