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아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
축전 결합 플라즈마에서 병렬 인덕터를 이용한 플라즈마 발생 효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
유도결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 전자기장 전산모사와 플라즈마 방전 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
세슘을 이용한 플라즈마 음이온빔 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
딥러닝과 OES를 이용한 건식 식각 챔버 내 플라즈마 밀도 예측
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
캐패시턴스 측정을 통한 대기압 플라즈마 젯 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
정전용량 변화를 이용한 대기압 제트 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
고주파 플라즈마 발생장지 제작 및 플라즈마 광 방출 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
대기압 저온 아르곤 플라즈마 제트의 분광 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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