축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향

문호준; 정진욱

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축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향

자료유형: 학술대회자료

저자정보: 문호준 (Hanyang University) 정진욱 (Hanyang University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2019.8

수록면: 105 - 105 (1page)

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