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이무현 (한양대학교) 서범준 (한양대학교) 정진욱 (한양대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
123 - 123 (1page)

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부유 고조화 분석법은 부유 전위에 있는 탐침에 작은 정현 전압을 인가하여 전류 파형을 얻고, 이 전류 파형의 여러 고조화 성분을 분석해 전자 온도를 구하는 방법이다. 기존의 연구들은 구동 주파수가 탐침 전압의 주파수보다 큰 조건에서 시간 평균 ... 전체 초록 보기
#부유 고조화 분석법 #초고속 #전자 온도 #전자 가열 동력학

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