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김재완 (부산대학교) 김철웅 (부산대학교) 신지현 (부산대학교) 이정열 (부산대학교) 이해준 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
119 - 119 (1page)

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반도체 식각 및 증착 공정에서 널리 사용되고 있는 용량성 결합 플라즈마(CCP)는 전기장과 전류의 위상 차이에 의해 다양한 비선형 현상을 포함하고 있으며 이러한 현상을 분석하기 위해서 몬테카를로 충돌(Monte Carlo collision, MCC) 계산 기법이 도입된 입자셀(particle- ... 전체 초록 보기
#CCP #MCC #Paschen

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김진석 ,  김호준 ,  이해준 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 .08
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