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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Wilt, P.C. Van Der (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Chitu, A.M. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Turk, B.A. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Chung, U.J. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Limanov, A.B. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Im, James S. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display

발행연도: 2006.1

수록면: 768 - 771 (4page)

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Uniformity and performance characteristics of LTPS TFTs are important parameters for making advanced active-matrix displays. In this paper, we describe an SLS-based crystallization approach for producing orientation-controlled Si films with reduced concentrations of planar defects that stand to potentially deliver unprecedented levels of device uniformity and performance. Specifically, a 2-step process referred to as hybrid SLS has been developed that produces a variety of high-quality {100} surface-oriented Si films.

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Chitu, A.M.

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