SLS of Si Films on Polymer Substrates;Materials and Devices

Limanov, A.B.; Wilt, P.C. van der; Kane, M.G.; Firester, A.H.; Goodman, L.; Lee, J; Abelson, J.R.; Im, James S.

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저자정보: Limanov, A.B. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Wilt, P.C. van der (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Kane, M.G. (Sarnoff Corporation) Firester, A.H. (Sarnoff Corporation) Goodman, L. (Sarnoff Corporation) Lee, J (Department of Materials Science and Engineering, University of Illinois) Abelson, J.R. (Department of Materials Science and Engineering, University of Illinois) Im, James S. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display

발행연도: 2006.1

수록면: 491 - 494 (4page)

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A number of research groups and companies have succeeded in employing various SLS schemes to create low defect-density Si films on glass substrates for making high performance TFTs. In this paper, we first point out that SLS can be utilized to just as effectively handle crystallization of thin Si films on polymer substrates, and then present preliminary results on high-performance circuits that are built using the materials.

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Limanov, A.B.

소속기관 Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics,

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Wilt, P.C. van der

소속기관 Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics,

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Kane, M.G.

소속기관 Sarnoff Corporation

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Firester, A.H.

소속기관 Sarnoff Corporation

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Goodman, L.

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Lee, J

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, University of Illinois

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Abelson, J.R.

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, University of Illinois

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Im, James S.

소속기관 Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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