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자료유형
학술대회자료
저자정보
Ryu, Myung-Kwan (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Kim, Eok-Su (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Kook, Yoon-Boo (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Park, Jung-Ho (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Yoon, Bin-Nal (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Kwon, Hyuk-Soon (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Hwang, Hyun-Ki (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Son, Gon (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Kim, Cheon-Hong (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Kim, Seung-Soo (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Jun, Jung-Mok (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd) Lee, Jung-Yeal (Research Center, BOE HYDIS TECHNOLOGY Co. Ltd)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
발행연도
2006.1
수록면
501 - 504 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

Effect of Density-of-States (DOS) Parameters on the N-channel SLS Poly-Si TFT Characteristics
Ryu ,  Myung-Kwan ,  Kim 외 5명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2006.01 학술대회자료
SLS Crystallized Poly-Si TFT Technology
Ryu ,  Myung-Kwan ,  Kim 외 22명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2006.01 학술대회자료

초록· 키워드

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The Process technology for uniform SLS poly-Si and performance enhancement of furnace activated poly-Si TFTs are reported. By strictly optimizing SLS optics, threshold voltage variation in pixel TFTs was remarkably decreased and the non-uniformity such as SLS shot mark was removed. Optimized doping process for low sheet resistance and passivation annealing are critical for the enhancement of device performances.

목차

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