Uniformity Optimization of TFTs Fabricated on 2-shot SLS-Processed Si Films

Turk, Brandon A.; Wilt, P.C. Van Der; Crowder, M.A.; Voutsas, A.T.; Limanov, A.B.; Chung, U.J.; Im, James S.

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저자정보: Turk, Brandon A. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Wilt, P.C. Van Der (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Crowder, M.A. (Sharp Laboratories of America) Voutsas, A.T. (Sharp Laboratories of America) Limanov, A.B. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Chung, U.J. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University) Im, James S. (Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display

발행연도: 2006.1

수록면: 1,750 - 1,755 (6page)

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Nonoptimal placement of short-channel-length TFTs in large-grained polycrystalline Si films with a periodic microstructure, as for instance obtained via 2-shot SLS, can potentially lead to degradation in the overall uniformity of the resultant devices. In this paper, we explain and demonstrate that by simply introducing a well-defined misorientation between the devices and the periodic microstructure, it is possible to significantly reduce (and potentially entirely eliminate) the device nonuniformity problem that can arise from such a cause.

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Voutsas, A.T.

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Limanov, A.B.

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Chung, U.J.

소속기관 Program in Materials Science and Engineering, Department of Applied Physics and Applied Mathematics,

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Im, James S.

소속기관 Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University

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