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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
Kang, Myung-Koo (MD Development Team, MD Business, Samsung Electronics Co) Kim, Hyun-Jae (Department of Electronics, Yonsei University) Kim, ChiWoo (MD Development Team, MD Business, Samsung Electronics Co) Kim, Hyung-Guel (MD Development Team, MD Business, Samsung Electronics Co)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
발행연도
2007.1
수록면
8 - 11 (4page)

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2007

SLS (Sequential Lateral Solidification) Technology for High End Mobile Applications
Kang ,  Myung-Koo ,  Kim 외 5명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

2006

LTPS (Low Temperature Poly Si) Technology Based on SLS (Sequential Lateral Solidification) Crystallization for Advanced Mobile Display
Kang ,  Myung-Koo ,  Kim 외 5명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2006.01 학술대회자료

2005

Development of High Aperture Ratio 2.1” QVGA LTPS (Low Temperature Poly Si) LCD Using SLS (Sequential Lateral Solidification) Technology
Kang ,  Myung-Koo ,  Lee 외 21명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2005.01 학술대회자료

2003

Development of World's Largest 21.3' LTPS LCD using Sequential Lateral Solidification(SLS) Technology
Kang ,  Myung-Koo ,  Kim 외 23명 Journal of information display 2003.01 학술저널
Development of World's Largest 21.3' LTPS LCD Using Sequential Lateral Solidification (SLS) Technology
Kang ,  Myung-Koo ,  Kim 외 23명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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The new technologies in mobile display developed in SEC are briefly reviewed. For a differentiation, SEC's LTPS line is based on SLS (Sequential Lateral Solidification) technology. In this paper, the characteristics of SEC's SLS in recent and future mobile displays were discussed. The microstructure produced by SLS crystallization is dependent on SLS process conditions such as mask design, laser energy density, and pulse duration time. The microstructure and TFT (Thin Film Transistor) performance are closely related. For an optimization of TFT performance, SLS process condition should be adjusted. Other fabrication processes except crystallization such as blocking layer, gate insulator deposition and cleaning also affect TFT performance. Optimized process condition and tailoring mask design can make it possible to produce high quality AMOLED devices. The TFT non-uniformity caused by laser energy density fluctuation could be successfully diminished by mixing technology.

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