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Sohn, Choong-Yong (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Kim, Yong-Hae (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Ko, Young-Wook (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Chung, Choong-Heui (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Hwang, Chi-Sun (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Song, Yoon-Song (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute) Lee, Jin-Ho (Basic Research Lab., Electronics and Telecommunications Research Institute)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2003.1
수록면
683 - 685 (3page)

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We report on a surface planarization process that produces more planar surface than previous sequential lateral solidification crystallized poly silicon films. By applying the single shot laser irradiation with optimum energy density ($(817mJ/cm^{2})$ on the ridge area after SLS crystallization, the ridge height can be decreased.

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