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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김지용 (국민대학교 금속재료공학과) 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과) 박상준 ([주]아펙스) 신현국 ([주] 유피 케미컬)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제7권 제7호
발행연도
1997.1
수록면
576 - 581 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1997

TDEAT와 $\textrm{NH}_3$ 예비혼합 처리가 MOCVD TiN형성에 미치는 영향
김지용 ,  이재갑 ,  박상준 외 1명 한국재료학회지 1997.01 학술저널

1996

TDEAT 단일증착원용 이용한 MOCVD TiN 형성과 막질에따른 Cu 확산방지막 효과
김지용 ,  이재갑 ,  김재호 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1996.11 학술대회자료
TDEAT 단일증착원과 TDEAT / NH₃ 혼합증착원으로 증착한 TiN 박막의 특성비교
김지용 ,  김재호 ,  이재갑 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.02 학술대회자료

초록· 키워드

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TDEAT(TI[N(C$_{2}$H$_{5}$)$_{2}$]$_{4}$)와 NH$_{3}$반응기체를 이용하여 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)TiN 박막을 형성하였다. 반응기체들은 chamber내에 주입하기 전에 적절한 기상반응을 유도시켜 주었으며, TiN박막 형성에 미치는 예비혼합 효과를 관찰하였다. 두 반응기체의 예비혼합을 이용하여 낮은 탄소의 함유와 함께 -800$\mu$Ωㆍcm의 비교적 낮은 비저항을 나타내었다. 또한 NH$_{3}$의 유량 증가에 따라 도포성이 상당히 증가되고 있는데 이같은 도포성 향상 효과는 기상반응에 의하여 형성되는 중간상의 낮은 흡\ulcorner계수에 기인하는 것으로 여겨진다. QMS(Quadruple Mass Spectrometer)분석을 이용하여 두가지 경쟁적 반응을 포함한 전체 반응식을 제시하였다. TDEAT/NH$_{3}$혼합증착원의 경우 particle이 관찰\ulcorner지 않았으며 이것은 기상반응의 정도를 효과적으로 조절한데 기인하는 것으로 여겨진다. 결과적으로 반응기체의 예비혼합은 막질 및 도포성 개선과 함께 particle생성억제에 매우 효율적인 방법임을 알 수 있었다.다.

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