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Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
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Reactive Sputtering 으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
Reactive Sputtering으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성 ( The Electrical Charateristics of TiN thin Films By Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구 ( Optical Properties of TiN Diffusion Barriers Deposited by Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Reactive Magnetron Sputter Ion Plating법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
2000 .04
Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)
한국재료학회지
1993 .01
Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
The Reliability of AI Film Due to Reactive-Sputtered TiN Barrier Metal
Journal of Electrical Engineering and information Science
1996 .12
RF 방전 플라즈마의 파라메타 제어에 의한 TiN 박막 특성
전기학회논문지
1997 .02
평판형 전극계의 RF 글로우 방전특성 및 TiN 박막특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2008 .01
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )
Tribology and Lubricants
1995 .03
경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
이온빔 보조 증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국안광학회지
2004 .04
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