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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제10회 학술발표회논문개요집
발행연도
1996.2
수록면
51 - 52 (2page)

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1997

TDEAT와 $\textrm{NH}_3$ 예비혼합 처리가 MOCVD TiN형성에 미치는 영향
김지용 ,  이재갑 ,  박상준 외 1명 한국재료학회지 1997.01 학술저널

1996

TDEAT 단일증착원용 이용한 MOCVD TiN 형성과 막질에따른 Cu 확산방지막 효과
김지용 ,  이재갑 ,  김재호 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1996.11 학술대회자료
TDEAT 단일증착원과 TDEAT / NH₃ 혼합증착원으로 증착한 TiN 박막의 특성비교
김지용 ,  김재호 ,  이재갑 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.02 학술대회자료

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목차

1. 실험방법

2. 결과 및 고찰

3. 결론

4. 참고문헌

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