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2003
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레이저 유기 충격파를 이용한 웨이퍼 표면 미소입자 제거
한국레이저가공학회지
2002 .01
액막 보조 레이저 충격파 세정 공정
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2004 .01
펨토초레이저 충격파에 의한 형광 나노입자 제거
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .05
Laser 충격파를 이용한 실리콘웨이퍼 표면에서의 미세 오염입자 제거
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
레이저 충격파 세정공정의 해석
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2006 .01
레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
레이저 충격파 클리닝 공정에서 음향 모니터링에 관한 연구
한국레이저가공학회지
2003 .01
Effects of size, humidity and aging on particle removal with high energy laser shock wave cleaning
한국재료학회 학술발표대회
2008 .01
오염 입자 상태에 따른 레이저 충격파 클리닝 특성 고찰
한국레이저가공학회지
2003 .01
레이저 충격파 특성에 의한 입자 거동과 세정효율에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
플라즈마를 통한 투명 폴리머의 자기세정 처리
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .10
Wafer Position Recognition in Wafer Cleaning Equipment
한국멀티미디어학회 국제학술대회
2009 .08
레이저 세정기술을 이용한 웨이퍼의 표면세정
한국액체미립화학회지
2007 .01
극저온 CO₂ 세정공정의 세정인자 최적화
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .09
플라즈마 세정기술 현황
기계와 재료
2000 .01
에어제트를 이용한 웨이퍼 표면 입자 세정 효과에 대한 연구
대한기계학회 논문집 B권
2020 .09
레이저 복합기의 재제조공정을 위한 전자부품 세정시스템의 개발
청정기술
2012 .09
레이저 유기 충격파를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 클리닝
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2002 .01
반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
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