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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.9
발행연도
2008.9
수록면
109 - 115 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2008

극저온 CO₂ 세정공정의 세정인자 최적화
이성훈 ,  석종원 ,  김필기 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.09 학술저널
펄스식 극저온 CO₂ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화
이성훈 ,  이주홍 ,  김필기 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료
펄스식 극저온 CO₂ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화
이성훈 ,  이주홍 ,  김필기 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.06 학술저널

2007

극저온 CO₂세정에서의 파티클 충돌 메커니즘에 대한 동적 해석
이성훈 ,  김필기 ,  오병준 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

초록· 키워드

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The cleaning process of contaminant particles adhering to the microchips, integrated circuits (ICs) or the like is essential in modem microelectronics industry. In the cleaning process particularly working with the application of inert gases, the removal of contaminant particles of submicron scale is very difficult because the particles are prone to reside inside the boundary layer of the working fluid. The use of cryogenic CO₂ cleaning method is increasing rapidly as an alternative to solve this problem. In contrast to the merits of high efficiency of this process in the removal of minute particles compared to the others, even fundamental parametric studies for the optimal process design in this cleaning process are hardly done up to date. In this study, we attempted to measure the cleaning efficiency with the variations of some principal parameters such as mass flow rate, injection distance and angle, and tried to draw out optimal cleaning conditions by measuring and evaluating an effective cleaning width called d??.
#Cryogenic CO₂ cleaning(극저온 CO₂ 세정) #Minute particle(미세 입자) #Adhesion force(점착력) #Cleaning efficiency(세정효율) #Optimal CO₂ injection condition(최적 CO₂ 분사조건)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 극저온 CO₂ 세정 원리
3. 실험
4. 결과
5. 결론
후기
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