세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

반도체 세정기술

최종복

공기청정기술

1994 .01

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

정지현 ,  강봉균 ,  김민수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

대체 세정장치의 경제성 분석

노경호

전자진흥

1993 .01

레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거

김진수 ,  이승호 ,  박진구

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

마이크로버블을 이용한 세정장치 개발 및 세정성능 강화

전종선 ,  추주영 ,  이상헌 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2012 .01

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

극저온 $CO_2$를 이용한 세정장치 개발

윤철남

발명특허

2001 .01

레이저 세정의 세정메카니즘 규명을 위한 실험적 연구

송재동 ,  백지영 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

초음파세정기술

이춘삼

공기청정기술

1994 .01

오존 기능수를 이용한 저소비형 반도체 세정공정시스템

손영수

기계저널

2007 .04

특허정보분석보고서-반도체용세정기술(3)

한국발명진흥회

발명특허

2008 .01

Excimer Laser를 이용한 건식 세정에 있어 세정 효율의 정량적 평가

백지영 ,  송재동 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

증기발생기 세정로봇 분사장치 노즐 변경 및 배열에 따른 세정 효과

박병목 ,  채경선 ,  신경욱 외 6명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2016 .01

저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구

구희준 ,  고광진 ,  정찬교

청정기술

2001 .09

세라믹필터 집진장치의 역세정 시스템 설계를 위한 유동해석

정재화 ,  서석빈 ,  김시문 외 2명

에너지공학

2003 .09

플라즈마 세정기술 현황

남기석 ,  김종국 ,  이상로

기계와 재료

2000 .01

식품공업에 있어서의 세정기술

허종화 ,  문준식

공기청정기술

1996 .01

Reevaluation of hydrogen gas dissolved cleaning solutions in single wafer megasonic cleaning

김혁민 ,  강봉균 ,  이승호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

[기술기사②] 토양세정 기법을 이용한 오염토양의 처리

박준석

지반환경

2005 .03