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레이저 충격파 클리닝에서 발생되는 유동장의 실험적 해석
한국레이저가공학회지
2004 .01
액체의 레이저 유기 절연파괴를 이용한 신개념 표면 세정 공정
한국레이저가공학회지
2009 .01
레이저 충격파 클리닝 공정에서 분위기 가스의 영향
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2003 .01
레이저 유기 충격파 클리닝 공정에서 펄스 에너지에 따른 영향
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2002 .01
Effects of size, humidity and aging on particle removal with high energy laser shock wave cleaning
한국재료학회 학술발표대회
2008 .01
레이저 유기 충격파를 이용한 웨이퍼 표면 미소입자 제거
한국레이저가공학회지
2002 .01
액막 보조 레이저 충격파 세정 공정
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2004 .01
파장이 다른 레이저의 임플란트 세정 효과에 관한 연구
한국생산제조학회지
2013 .08
음향 세척 장치의 음파 검출을 위한 무선 센서 개발
대한전자공학회 학술대회
2013 .07
레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
차세대 반도체 표면 클리닝 기술들의 특성 및 전망
한국레이저가공학회지
2001 .01
레이저 유기 충격파를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 클리닝
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2002 .01
레이저 세정기술을 이용한 웨이퍼의 표면세정
한국액체미립화학회지
2007 .01
Laser Shock Processing에 의한 금속표면의 강화특성
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2009 .11
Laser 충격파 세정에서 플라즈마 생성 위치에 따른 오염 입자 제거 효과
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
Development of Dry Cleaning Process using Gas Cluster Beam
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
고 출력 레이저에 의한 충격파 현상 연구 및 응용
대한기계학회 논문집 B권
2008 .11
오염 입자 상태에 따른 레이저 충격파 클리닝 특성 고찰
한국레이저가공학회지
2003 .01
Wafer Position Recognition in Wafer Cleaning Equipment
한국멀티미디어학회 국제학술대회
2009 .08
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