레이저 충격파 세정공정의 해석

오부국 ,  이정욱 ,  김동식

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2006 .01

레이저 충격파 클리닝 공정에서 분위기 가스의 영향

김태훈 ,  김도훈 ,  이종명 외 4명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

레이저 충격파 클리닝 공정에서 음향 모니터링에 관한 연구

김태훈 ,  이종명 ,  조성호 외 1명

한국레이저가공학회지

2003 .01

레이저 유기 충격파 클리닝 공정에서 펄스 에너지에 따른 영향

김태훈 ,  김도훈 ,  이종명 외 2명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2002 .01

Laser 충격파 세정에서 플라즈마 생성 위치에 따른 오염 입자 제거 효과

강영재 ,  이상호 ,  박진구 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

레이저 복합기의 재제조공정을 위한 전자부품 세정시스템의 개발

배재흠 ,  장윤상

청정기술

2012 .09

수직 충격파 이론을 이용한 레이저 절단용 초음속 보조 가스의 효과 분석

김두승 ,  이승헌 ,  박병훈 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향

유영삼 ,  김태곤 ,  손일룡 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

세정공정에서의 오존층파괴와 대체세정

김학동 ,  전병완

한국표면공학회지

1998 .12

레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거

김진수 ,  이승호 ,  박진구

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

레이저 충격파 특성에 의한 입자 거동과 세정효율에 미치는 영향

유영삼 ,  김태곤 ,  손일룡 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

레이저 유기 충격파를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 클리닝

이종명 ,  조성호 ,  박진구

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2002 .01

액체의 레이저 유기 절연파괴를 이용한 신개념 표면 세정 공정

장덕석 ,  이종명 ,  김동식

한국레이저가공학회지

2009 .01

레이저 유도 충격파의 실험적인 제어를 기반으로 한 점형 파이로 충격파 응답 스팩트럼 예측 알고리즘 개발

장재경 ,  이정률

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2014 .04

Study on Multiple Shock Wave Structures in Supersonic Internal Flow

Jintu K James ,  Heuy Dong Kim

한국추진공학회지

2020 .06

액막 보조 레이저 세척에서 액체 기화의 역할

이주철 ,  장덕석 ,  김동식

대한기계학회 논문집 B권

2003 .02

레이저 세정기술을 이용한 웨이퍼의 표면세정

이명화 ,  백지영 ,  송재동 외 2명

한국액체미립화학회지

2007 .01

레이저 충격파 세정 동안 오염입자들과 웨이퍼 표면 사이에서 작용 하는 adhesion 과 capiaalry force에 관한 연구

이재환 ,  강영재 ,  이상호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

과열 수증기를 이용한 세정 시스템 설계

조도현

전자공학회논문지-IE

2011 .06

레이저 충격파 클리닝에서 발생되는 유동장의 실험적 해석

임현규 ,  장덕석 ,  김동식

한국레이저가공학회지

2004 .01