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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
Joon Jae Lee (계명대학교)
저널정보
한국멀티미디어학회 한국멀티미디어학회 국제학술대회 MITA 2009
발행연도
2009.8
수록면
45 - 48 (4page)

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For cleaning the wafer in the cleaning process of the semiconductor production processes, the robot moves wafer to the cleaning chamber. But the wafer is sometimes put in the incorrect location, hitting the wall of cleaning device when it spins. Then, the cleaning process stops due to the damage of the device. To prevent this situation, this paper presents a position error recognition system using multiple cameras based on Giga Ethernet in multi-cleaning system. This is carried out by capturing images by high frame rate, followed by image processing to check the wafer's position before the cleaning process starts. If the robot puts the wafer in the incorrect location, the machine stops the cleaning process, preventing the wafer from being broken or the machine from being disturbing the cleaning process.

목차

Abstract
1. Introduction
2. Calibration
3. Registration
4. Recognition
5. Conclusion
6. References

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