산화막 화학적 기계적 연마에 영향을 미치는 실리콘 웨이퍼 나노토포그래피의 스펙트럼 분석

박진형; 유형철; 박재근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박진형 (한양대학교, 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) 유형철 (한양대학교, 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) 박재근 (한양대학교, 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2001.1

수록면: 149 - 149 (1page)

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박진형

소속기관 Nano-SOI 공정 연구실, 한양대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 3 이용수 7

유형철

소속기관 한양대학교, 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 1 이용수 1

박재근

소속기관 한양대학교, 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 1 이용수 1

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