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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제16권 제5호
발행연도
1999.5
수록면
40 - 47 (8page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 컨디셔닝의 메카니즘
3. 초음파를 이용한 패드 세정 효과
4. 다이아몬드 컨디셔너에 의한 패드 형상 보정
5. 복합 컨디셔닝의 효과-Metal CMP
6. 결론 및 고찰
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