웨이퍼의 대구경화가 Cu CMP 의 연마율에 미치는 영향

유민종; 정해도; 박인호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 유민종 (부산대학교) 정해도 (부산대학교) 박인호 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2016.5

수록면: 15 - 15 (1page)

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