급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

급속열산화법에 의한 실리콘 산화막의 특성 ( Characteristics of Silicon Oxide Films Grown by Rapid Thermal Oxidation )

이귀연 ,  양두영 ,  이정용

전자공학회논문지-A

1991 .12

직접불소화를 이용한 고분자 표면처리 기술

이병기 ,  노재성 ,  김흥곤

고분자 과학과 기술

2002 .12

열처리 방식에 따른 실리콘 산화아연 박막의 물성 분석

이상혁 ,  전현식 ,  박진석

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .07

COMPUTER SIMULATION OF RAPID THERMAL ANNEALING OF THE SILICON OXIDE IN AMMONIA AMBIENT

H. Wong ,  Y. C. Cheng ,  P. T. Lai

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development and Application of Rapid Thermal Process System )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development & Application of rapid thermal process system )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

슬립현상을 최소화하기 위한 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing to Minimize Slip )

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

슬립현상을 최소화 하기위한 급속열처리

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

The Passivation Properties with Various Annealing Condition of P-doped Poly-Silicon/Silicon Oxide/Crystalline Silicon Structure

Sungjin Choi ,  Kwan Hong Min ,  Myeong Sang Jeong 외 6명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

GaN 에피층의 급속 열처리 효과

최성재 ,  이원식

한국인터넷방송통신학회 논문지

2008 .01

실리콘 산화막의 전압 전류 특성

강창수

대한전자공학회 학술대회

2016 .06

산화인듐아연 박막에 대한 급속 열처리 효과

김원 ,  방정환 ,  엄현석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .07

텅스텐 할로겐 램프에 의한 절연층 상의 실리콘 박막 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing of Silicon on Insulator ( SOI ) with a W-Halogen Lamp )

김춘근 ,  김용태 ,  민석기

전자공학회논문지

1988 .08

Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

급속 열처리에 의한 a-Si 결정화시 잠열의 영향에 대한 연구

박혜향 ,  윤여건 ,  김기범 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01