급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development & Application of rapid thermal process system )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

슬립현상을 최소화 하기위한 급속열처리

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

슬립현상을 최소화하기 위한 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing to Minimize Slip )

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

GaN 에피층의 급속 열처리 효과

최성재 ,  이원식

한국인터넷방송통신학회 논문지

2008 .01

열처리와 분석을 중심으로

이창성

안전21

2002 .01

알루미늄 열처리공정을 위한 고속 열처리장치의 설계 제작 및 성능평가

李東燁 ,  李英姬

전기학회논문지

1991 .10

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리시 실리콘 웨이퍼의 온도분포와 슬립 현상의 해석 ( Analysis of Temperature Distribution and Slip in Rapid Thermal Processing )

이혁 ,  유영돈 ,  엄윤용 외 2명

대한기계학회 논문집

1992 .04

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MBE로 성장한 GaN 에피층의 급속 열처리

최성재 ,  이원식

한국인터넷방송통신학회 논문지

2010 .01

급속열처리가 다결정 CdTe 박막의 물성에 미치는 효과에 관한 연구

조영아 ,  이용혁 ,  윤종구 외 4명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

1996 .11

반도체 공정용 급속 열처리 장치의 최근 기술 동향

김영규 ,  이해문 ,  정태진

[ETRI] 전자통신동향분석

1998 .06

급속 열처리에 의한 SiO2의 질화 ( Rapid Thermal Nitridation of SiO2 )

이용현 ,  왕진석

전자공학회논문지

1990 .05

박막 접합 형성을 위한 열처리 방법에 관한 연구

한명석 ,  김재영 ,  이충근 외 1명

전자공학회논문지-IE

2002 .03

D-4 시스템과 그 응용

김영균

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1979 .01

Rapid Thermal Process에 의해 형성시킨 얇은 산화막의 전기적 특성

이철진 ,  성만영 ,  성영권

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11