Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Modeling of Arsenic and BF2 Diffusion Under Rapid Thermal Annealing Ambient

Joon Sung Lee ,  Hwa Sik Pa ,  k 외 7명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

EFFECT OF RAPID THERMAL ANNEALING WHEN USED FOR ANNIHILATION OF THERMAL DONORS IN SILICON ON SUBSEQUENT OXYGEN PRECIPITATION

W. Mu ,  ay Bullis

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

PARAMETRIC STUDY ON THE SHEET RESISTANCE OF THE ION IMPLANTED SILICON WAFERS AFTER RAPID THERMAL ANNEALING

Chi Hoon Jun ,  Youn Tae Kim ,  Young Soo Lee 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

METAL-INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON FILMS ON GLASS USING RAPID THERMAL ANNEALING

Kim ,  Tae-Kyung ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속열처리에 의한 불소화실리콘산화막의 표면처리효과

강승열 ,  장원익 ,  김윤태 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Effect of Diluent Gas and Rapid Thermal Annealing on the Properties of Plasma Deposited Silicon Nitride Film

C. W. Nam ,  S. I. Woo ,  Y. T. Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Rapid Thermal Annealing for the Thermal Oxidation and the Activation of implanted Impurities

Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Ayukawa

대한전자공학회 세미나

1992 .01

열처리 방식에 따른 실리콘 산화아연 박막의 물성 분석

이상혁 ,  전현식 ,  박진석

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .07

Properties of Co-silicide prepared by rapid thermal annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Rapid Thermal Annealing Using Vertical Movable Heat Treatment Equipment

Tong Gyu Kim ,  Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Shono

대한전자공학회 세미나

1991 .01

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Improvement in Characteristics of Thin Film Transistors by High Pressure Steam Annealing

Nagasawa ,  Y. ,  Yamamoto 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Influence of metal annealing deposited on oxide layer

Eung Soo Kim ,  Won Ju Cho ,  Shin Won Kang

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2002 .07

Si(111) 기판 위에 증착된 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른구조적, 광학적 특성 연구

김홍승 ,  정은수 ,  이주영 외 1명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

Changes in Colloidal Properties of Graphene Oxide by Mild Thermal Annealing

김건웅 ,  김소연

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2020 .10