저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조

고천광 ,  이원규

화학공학

2008 .01

급속열질화에 의한 고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 특성개선 ( Improvement of Thin Oxide Grown by High Pressure Oxidation using Rapid Thermal Nitridation )

노태문 ,  이대우 ,  송윤호 외 4명

전자공학회논문지-D

1997 .08

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 ( An Experimental Study on the Oxidation Process of Silicon )

최연익 ,  김충기

전자공학회지

1979 .03

다공질 실리콘의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

박정용 ,  조찬섭 ,  양천순 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

실리콘 산화막의 전압 전류 특성

강창수

대한전자공학회 학술대회

2016 .06

고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 열질화 효과 ( Thermal Nitridation Effects of Ultrathin Oxides Grown By High Pressure Oxidation )

노태문 ,  이대우 ,  박종문 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 열질화 효과

노태문 ,  이대우 ,  박종문 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

표면 보호막 생성에 Rapid thermal oxidation을 이용한 실리콘 솔라셀

류경선 ,  허관준 ,  김성진

대한전자공학회 학술대회

2013 .11

급속열처리에 의한 불소화실리콘산화막의 표면처리효과

강승열 ,  장원익 ,  김윤태 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

$N_2$O 분위기에서 RTP로 제조한 실리콘 산화막의 산화 반응

박진성 ,  이우성 ,  심태언

한국재료학회지

1993 .01

다공질 실리콘 ( Porous Silicon ) 의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

양천순 ,  박정용 ,  이종현

전자공학회논문지

1990 .10

건식 산화법에 의한 다결정 실리콘 산화막의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of Polyoxides by Dry Oxidation )

이종형 ,  박훈수 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

The Characteristic of Low Level Current in Silicon Oxide

Chang-Soo Kang

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성

홍영호 ,  심창현 ,  전춘배 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성 ( Electric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film Formed by Thermal Oxidation )

홍영호 ,  심창현 ,  전춘배 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01