급속열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성연구 ( Effects of the Rapid Thermal Anneal on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

급속열처리 방식을 이용한 다결정 실리콘 소자의 향상된 전기적 특성 ( Improved Electrical Properties of Polysilicon TFT Using Rapid Thermal Processing )

홍찬희 ,  박창엽 ,  이희국

전자공학회논문지

1990 .12

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

저온 열처리를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

정주용 ,  하승호 ,  이진민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

다결정 실리콘 박막 트랜지스터에서의 수소화에 따른 전기적 스트레스의 영향

김용상 ,  최만섭

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

열처리가 반절연성 다결정 실리콘 박막의 구조 및 전기적 특성에 미치는 영향

조원주 ,  H. Kuwano

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화에 따른 전기적 스트레스의 영향

황성수 ,  황한욱 ,  김동진 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화에 따른 전기적 스트레스의 영향

黃聖洙 ,  黃漢郁 ,  金容商

전기학회논문지 C

1999 .05

다결정 실리콘 박막트랜지스터의 저온 암모니아 어닐링에 관한 연구

박재홍 ,  정종원 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

두 단계 열처리에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성의 분석

崔權永 ,  韓民九 ,  金容商

전기학회논문지

1996 .04

실리사이드 공정에 의해 제조된 아날로그용 다결정 실리콘 커패시터의 전기적 특성 변화 ( The Effects of Silicide Process on Electrical Properties in an Analog Polysilicon Capacitor )

이재성 ,  이재곤

전자공학회논문지-SD

2001 .01

급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화

이창우 ,  고민경 ,  우상록 외 4명

한국재료학회지

1997 .01

다결정 실리콘 박막트랜지스터의 저온 암모니아 어닐리에 관한 연구 ( A Study on the Low Temperature NH3 Annealing on Polysilicon Thin Film Transistor )

박재홍 ,  정종원 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

열처리 공정에 따른 산화물 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구

박유진 ,  오민석 ,  한정인

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors )

남기수 ,  노태문 ,  조덕호 외 2명

전자공학회논문지-A

1991 .03

CO2 레이저 열처리에 의한 SOI 구조에서의 다결정 실리콘의 재결정화 ( The Recrystallization of Polysilicon in SOI by CO2 Laser Annealing )

오민록 ,  안철

전자공학회논문지

1987 .11

고온열처리가 측면결정화시킨 다결정 실리콘 박막의 미세구조와 박막트랜지스터 특성에 미치는 영향

이계웅 ,  김보현 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01