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김원 (한양대학교) 방정환 (한양대학교) 엄현석 (한양대학교) 박진석 (한양대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,268 - 1,269 (2page)

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This work shows the effect of rapid thermal annealing (RTA) on properties of indium-zinc oxide (IZO) thin films. The RTA temperatue was controlled between 300 and 500℃ under the two different ambient conditions such as vacuum and oxygen. Structural, optical, and electrical properties of IZO films were characterized in terms of RTA conditions. XRD and resistivity measureme ... 전체 초록 보기

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