METAL-INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON FILMS ON GLASS USING RAPID THERMAL ANNEALING

Kim ,  Tae-Kyung ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속열처리에 따른 Si 이온주입 유기결함의 회복 거동 ( Annealing Behaviors of Various Defects in Si during Rapid Thermal Annealing )

김광일 ,  권영규 ,  정욱진 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Application of 532 ㎚ Nd:YAG Laser Annealing to Crystallization of Amorphous Si Thin Films

Jaewon Lee ,  Jong-Won Lee ,  Haseung Chung 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

Reducing Crystallization Temperature and Time of a LPCVD Amorphous Silicon Thin Film in Al / Amorphous Si Structure

김진혁 ,  이정용

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Microwave-Enhanced Low-Temperature Crystallization of Amorphous Silicon Films for TFTs

Ahn ,  Jin-Hyung ,  Eom 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Fabrication of polycrystalline Si films by rapid thermal annealing of amorphous Si film using a poly-Si seed layer grown by vapor-induced crystallization

양용호 ,  안경민 ,  강승모 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Na₂SO₄·10H₂O 잠열축열재의 온도조절제 함량에 따른 잠열량 및 잠열온도 변화

강연구 ,  김영화 ,  장재경 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2014 .05

Fe-Si-B-Ni 비정질 합금의 어닐링에 관한 연구

김신우 ,  송용설 ,  백무흠

한국재료학회지

2003 .01

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development and Application of Rapid Thermal Process System )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development & Application of rapid thermal process system )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

슬립현상을 최소화 하기위한 급속열처리

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

슬립현상을 최소화하기 위한 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing to Minimize Slip )

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Crystallization of amorphous Si by pulse annealing with Ni ferritins

Tojo ,  Yosuke ,  Miu 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Enhanced Crystallization of Amorphous Si Using viscous Ni Solution and Microwave Annealing

Ahn ,  Jin-Hyung ,  Eom 외 3명

Journal of information display

2001 .01

GaN 에피층의 급속 열처리 효과

최성재 ,  이원식

한국인터넷방송통신학회 논문지

2008 .01

급속 열처리시 Co/Ti/Si(100)계를 이용한 정합 Co$Si_{2}$형성기구 및 전기적 특성에 관한 연구

김기범 ,  곽준섭 ,  백홍구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Crystallization of Amorphous Silicon Films Using Joule Heating

Jae-Sang Ro

한국표면공학회지

2014 .02