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이용욱 (서울대학교) 강동원 (서울대학교) 한민구 (서울대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 전기물성.응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.11
수록면
157 - 158 (2page)

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DC 마그네트론 스퍼터링으로 저가의 소다라임 유리기판 위에 ZnO:Al(2wt.%)박막을 증착하였다. 상온, 200℃, 300℃, 400℃의 기판온도에서 증착된 ZnO:Al 박막의 전기적, 광학적 특성을 연구하였다. 기판의 온도가 증가함에 따라 ZnO:Al 박막의 증착률, 식각률(0.5% HCl 습식식각)은 감소되었고, 이는 막의 밀도가 증가되었음을 의미한다. 300℃에서 증착된 박막이 2.01×10?⁴ohmㆍ㎝의 가장 낮은 비저항을 보였다. 기판의 온도 증 ... 전체 초록 보기

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