STI-CMP 적용을 위한 이중 연마 패드의 최적화

朴成祐 ,  金相用 ,  徐龍辰

전기학회논문지 C

2002 .07

새로운 TiSi₂ 형성방법과 STI를 이용한 초박막 게이트 산화막의 특성 개선 연구

엄금용 ,  오환술

대한전자공학회 학술대회

2000 .11

STI Network Management Status

Sang Gil Lee

CDMA International Conference and Exhibition

1997 .01

STI 타이어 모델을 사용한 차량의 조향특성해석

이종석 ,  백운경

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2001 .11

Poly Si Wafer의 표면 특성변화에 따른 CMP 공정 후 오염 Mechanism의 규명

강봉균 ,  박진구 ,  강영재 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

STI-CMP공정에서 슬러리 연마입자가 dishing에 미치는 영향

안진우 ,  임대순 ,  이상익

한국트라이볼로지학회 학술대회

2003 .11

STI-CMP 공정의 질화막 잔존물 및 패드 산화막 손상에 대한 연구

李愚宣 ,  徐龍辰 ,  金相用 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .09

Dependence of Nanotopography Impact on Fumed Silica and Ceria Slurry Added with Surfactant for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

Cho ,  Kyu-Chul ,  Jeon 외 4명

한국재료학회지

2006 .01

STI-CMP용 세리아 슬러리 공급시스템에서 거대입자와 필터 크기가 Light Point Defects (LPDs)에 미치는 영향

이명윤 ,  강현구 ,  박진형 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

Reproducible Chemical Mechanical Polishing Characteristics of Shallow Trench Isolation Structure using High Selectivity Slurry

So-young-Jeong ,  Yong-JinSeo ,  Sang-YongKim

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

STI 무선망설계 TOOL

최인성

한국통신학회 심포지움

1998 .01

STI의 무선망 설계 Tool

최인성

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1998 .01

Effect of pH, Molecular Weight, and Concentration of Surfactant in Nano-Ceria Slurry on STI-CMP

Lee ,  Jae-Seong ,  Chun 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

Cu CMP 공정중의 연마입자 부착력과 마찰력 특성 평가

김진영 ,  김재훈 ,  홍의관 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

계면활성제의 농도와 연마제의 크기가 STI 화학적 기계적 연마에 대한 나노 세리아 슬러리의 선택비에 미치는 영향

김성준 ,  강현구 ,  박재근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Sphere-shaped Ceria Particles for Reducing the Defects in STI CMP Process

김나연 ,  남재도 ,  선한나

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

세리아 기반 CMP 슬러리에서 대전된 첨가물이 Poly-Si 과 SiO2 필름의 연마선택비에 미치는 영향

윤석진 ,  윤상수 ,  박재근

대한전자공학회 학술대회

2017 .06

STI 구조에서 발생하는 MOSFET Hump 특성에 관한 연구

이용희 ,  정상범 ,  이천희

한국정보과학회 학술발표논문집

1998 .10

STI 공정, 반도체 소자 분리 기술로 각광

한국전자산업진흥회

전자진흥

2006 .01

New Additive Free High Selective slurry 기본 연마 특성소개

최용수

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01