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SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
SiO₂ CMP의 연마율 향상을 위한 마이크로패턴 패드 폴리머 물성 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2024 .11
다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
3차원 반도체 패키징을 위한 화학기계적연마
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2023 .04
구조화된 패드의 표면 제어를 통한 세리아 CMP 성능 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
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