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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제18권 제8호
발행연도
2005.1
수록면
734 - 738 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2005

Si(111) 기판 위에 증착된 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른구조적, 광학적 특성 연구
김홍승 ,  정은수 ,  이주영 외 1명 전기전자재료학회논문지 2005.01 학술저널

1997

비정질 Si1-XGeX의 고상결정화에 따른 결함 형성과 결정 성장 기구 ( Defect Formation and Crystal Growth Mechanism on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Si1-xGex Thin Films )
김홍승 ,  이정용 한국통신학회 학술대회논문집 1997.01 학술대회자료
비정질 Si1-xGex의 고상결정화에 따른 결함 형성과 결정 성장 기구 ( Defect Formation and Crystal Growth Mechanism on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Si1-xGex Thin Films )
김홍승 ,  이정용 한국통신학회 공개발표회 및 토론회 1997.01 학술대회자료

1996

SiO2 위에 증착한 비정질 Si / Si1-xGex / Si 박막의 고상결정화시의 성장거동 및 미세구조에 관한 연구
김홍승 ,  이정용 ,  김진혁 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1996.01 학술대회자료

1995

a-Si / a-Si1-xGex 박막의 고상 결정화 온도에 따른 성장거동 및 미세구조에 관한 연구
김홍승 ,  이정용 ,  송윤호 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1995.01 학술대회자료

1994

$SiO_2$위에 증착된 $Si_{1-X}Ge_X$합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구
김홍승 ,  이정용 ,  이승창 외 1명 한국재료학회지 1994.01 학술저널

1993

Si-MBE로 중착시킨 다결정 SiGe의 $SiO_2$ 위에서의 성장거동및 미세구조
김홍승 ,  이정용 ,  이승창 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1993.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Zinc oxide films were deposited on Si (111) substrates by radio-frequency (rf)sputtering at a room temperature and post annealed in N2, air, and H2O ambient at temperatures between 800 ℃ for 2 hrs. The properties were investigated by atomic force microscope (AFM), X-ray diffraction (XRD), Auger electron spectroscopy (AES) and photoluminescence (PL). Our experiments demonstrated that ZnO films have the better crystal quality for post thermal annealing and especially in H2O ambient. Even though thermal annealing reduced deep level emission somewhat, for further getting rid off deep level emission, oxygen contents should be adjusted. In our results, H2O ambient gave the best structural and optical properties.
#ZnO #Thermal annealing #AES #XRD #PL.

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참고문헌 (10)

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/ 1978. / Elements of X-ray Diffrac- tions : 102 ~ google schola / 1988. / Luminescence of heteroepitaxial zinc oxide 52 (2) : 138 ~ google schola / 1996. / MBE growth and properties of ZnO on sapphire and SiC substrates 25 (5) : 855 ~ google schola / 1997. / Ultraviolet spontaneous and stimulated emissions from ZnO micro- crystallite thin films at room temperature 103 : 459 ~ google schola / 1997. / 기판 온도 및 스퍼터 가스에 따른 ZnO 박막의 우선배향성 34 : 1227 ~ google schola

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